DIN 50452-3:1995由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 1995-10。
DIN 50452-3:1995 在中国标准分类中归属于: H82 元素半导体材料。
DIN 50452-3:1995 半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第3部分:光学粒子计数器校正的最新版本是哪一版?
最新版本是 DIN 50452-3:1995-10 。
该文件描述了基于激光散射测量来确定颗粒尺寸偏差、颗粒浓度和光学颗粒计数器分辨能力的测量方法。
监测当地环境中的颗粒沉积现象很多污染敏感产品对生产环境的要求非常高,此类产品必须在达到一定空气清洁度的洁净室中生产。仅通过粒子计数器监测大气尘埃粒子,无法对当地环境中的颗粒沉积水平作出明确定论。颗粒的来源多种多样,通常与人员/员工、物流作业流程、包装、耗材以及生产过程密切相关。将 10 块沉降板放在关键过程位置,以便对清洁生产环境中的沉积物污染进行量化。沉降板会将沉积物颗粒收集在胶带上。...
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