GB/T 15871-1995
硬面光掩模基板

Hard surface photomask substrates

GB/T 15871-1995 发布历史

本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。 本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板（以下简称基板）。

GB/T 15871-1995由国家质检总局 CN-GB 发布于 1995-12-22，并于 1996-08-01 实施。

GB/T 15871-1995 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备。

GB/T 15871-1995的历代版本如下：

• 1995年12月22日 GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

标准号

GB/T 15871-1995

发布日期

1995年12月22日

实施日期

1996年08月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.030

发布单位

CN-GB

适用范围

本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。 本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板（以下简称基板）。

GB/T 15871-1995系列标准