GB/T 15873-1995
半导体设施接口技术文件编写导则
Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
GBT15873-1995, GB15873-1995
- 标准号
- GB/T 15873-1995
- 别名
- GBT15873-1995
GB15873-1995 - 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 15873-1995
- 本标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。 本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。