GB/T 15873-1995
半导体设施接口技术文件编写导则

Directives for drafting semiconductor facilities interface specification


说明:

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用;
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号;
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小;
  • 表示标准的节点,可以拖动;
  • 绿色表示标准:GB/T 15873-1995 , 绿色、红色表示本平台存在此标准,您可以下载或者购买,灰色表示平台不存在此标准;
  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。

 

 

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标准号
GB/T 15873-1995
发布日期
1995年12月22日
实施日期
1996年08月01日
废止日期
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31.220.10
发布单位
国家质检总局
适用范围
本标准规定了半导体设施接口技术文件(以下简称接口文件)编写的基本要求和格式。 本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。

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