GB/T 15873-1995
半导体设施接口技术文件编写导则

Directives for drafting semiconductor facilities interface specification

GBT15873-1995, GB15873-1995


GB/T 15873-1995 发布历史

GB/T 15873-1995由国家质检总局 CN-GB 发布于 1995-12-22,并于 1996-08-01 实施。

GB/T 15873-1995 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备,在国际标准分类中归属于: 31.220.10 插头和插座装置、连接器。

GB/T 15873-1995的历代版本如下:

 

本标准规定了半导体设施接口技术文件(以下简称接口文件)编写的基本要求和格式。 本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。

GB/T 15873-1995

标准号
GB/T 15873-1995
别名
GBT15873-1995
GB15873-1995
发布
1995年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 15873-1995
 
 

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