DIN 50450-2-1991
半导体工艺材料的检验.载运气体和混合气体中杂质的测定.第2部分:用原电池测定氮(下标2)、氩、氦、氖、氢(下标2)中的氧杂质

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N₂, Ar, He, Ne and H₂ by using a galvanic cell

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标准号

DIN 50450-2-1991

发布日期

1991年03月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20

发布单位

德国标准化学会

适用范围

The standard should define the test method for determining the content of O₂ in the carrier and doping gases N₂, Ar, He, Ne and H₂.#,,#

DIN 50450-2-1991系列标准