JIS H 0602:1995
用四点探针法对硅晶体和硅片电阻率的测试方法
Testing method of resistivity for silicon crystals and silicon wafers with four-point probe
- 标准号
- JIS H 0602:1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 日本工业标准调查会
- 当前最新
- JIS H 0602:1995
- 适用范围
- この規格は，シリコン単結晶（以下,単結晶という。）及びシリコンウェーハ(以下，ウェーハという。)の直流4探針法による抵抗率の側定方法について規定する。測定可能な抵抗率範囲は，P形は0.001～2000 Ω·cm, N形は0.001-6000Ω·cmとする。
JIS H 0602:1995相似标准
推荐
高频光电导寿命测试仪资料
本设备是按照标准GB/T1553“硅单晶少数载流子寿命测定的高频光电导衰减法”设计制造。高频光电导衰减法在我国半导体集成电路、晶体管、整流器件、核探器行业已运用了三十多年，积累了丰富的使用经验，经过数次十多个单位巡回测试的考验，证明是一种成熟的测试方法，特别适合于硅块、硅棒的少子体寿命测量；也可对硅片进行测量，给出相对寿命值。方法本身对样品表面的要求为研磨面，因此制样特别简便。...
解析光伏电池板为何产生光衰减现象
2在高纯多晶硅料中掺人过多低电阻率N型硅料苰IC的废N型硅片等。所制造出的掺硼CZ硅棒是一种高补偿的P型单晶材料。尽管电阻率合适，但硼一氧浓度非常高从而导致太阳电池性能出现较大幅度的早期光致衰减。我们强烈要求不使用低电阻率N型硅料。3一些公司拉棒工艺不过关，晶体硅中氧含量过高，内应力大，位错缺陷密度高，电阻率不均匀，都直接影响了太阳电池的效率及稳定性。我们希望改进拉棒工艺。控制氧含量。 ...
生产多晶硅片级产业链的工艺流程 看产污环节
硅片清洗使用清洗剂、醋酸、纯水清洗，去除粘接剂和各种表面杂质，得到清洁的硅片。 设备、工模具、材料：硅片预清洗设备、硅片清洗机、清洗剂、醋酸、纯水多晶硅片、硅片盒等。 工艺—包装 使用Manz硅片检测设备对硅片进行测试、分选，测试出每片硅片的性能参数，根据性能分类。测试数据包括厚度、电阻率、少子寿命等。相同分类的硅片包装在一起。 ...
386项推荐性国家标准发布 多项与仪器分析方法相关
纸板、纸浆和纤维素纳米材料 酸溶镁、钙、锰、铁、铜、钠、钾的测定2021-12-0137GB/T 40291-2021核仪器仪表 辐射探测器用高纯度锗晶体 基本特性的测量方法2021-12-0138GB/T 40332-2021无损检测 超声检测 超声测厚仪性能特征和测试方法2021-12-0139GB/T 40333-2021真空计 四极质谱仪的定义与规范2021-12-01...