GB/T 14140.1-1993
硅片直径测量方法 光学投影法
Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
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- 标准号
- GB/T 14140.1-1993
- 发布日期
- 1993年02月06日
- 实施日期
- 1993年10月01日
- 废止日期
- 2010-06-01
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 发布单位
- CN-GB
- 代替标准
- GB/T 14140-2009
- 适用范围
- 本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为φ40～φ100mm。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。 本标准用作仲裁测量方法。