本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为φ40~φ100mm。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。 本标准用作仲裁测量方法。
GB/T 14140.1-1993由国家质检总局 CN-GB 发布于 1993-02-06,并于 1993-10-01 实施,于 2010-06-01 废止。
GB/T 14140.1-1993 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法,在国际标准分类中归属于: 77.040.01 金属材料试验综合。
GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法 于 2009-10-30 变更为 GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法。
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