GB/T 14140.2-1993
硅片直径测量方法 千分尺法
Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method
GBT14140.2-1993, GB14140.2-1993
2010-06
- 标准号
- GB/T 14140.2-1993
- 别名
- GBT14140.2-1993
GB14140.2-1993 - 发布
- 1993年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14140-2009
- 当前最新
- GB/T 14140-2009
- 本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为φ25～φ100mm。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。
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