DIN 50451-4-2007
半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.用电感耦合等离子体质谱测定法测定纯净水中34中微量元素

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)


 

 

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标准号
DIN 50451-4-2007
发布日期
2007年02月
实施日期
废止日期
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
发布单位
DE-DIN
引用标准
DIN 32645 DIN 51401-1 DIN EN ISO 8655-2 DIN EN ISO 14644-1
被代替标准
DIN 50451-4-2005
适用范围
This Standard specifies a test method for the determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS). The method is applicable to mass fractions of elements from 10 ng/kg to 1000 ng/kg.

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