GB/T 21287-2007 电子工业用气体.三氟化氮仪器谱

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标准号: GB/T 21287-2007
发布日期: 2007年12月14日
实施日期: 2008年07月01日
废止日期: 无
中国标准分类号: G86
国际标准分类号: 71.100.20
发布单位: CN-GB
引用标准: GB 190 GB/T 2723 GB 5099 GB/T 5832.1 GB/T 6681 GB 7144 GB 14194 气瓶安全监察规程危险化学品安全管理条例特种设备安全监察条例

适用范围: 本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。分子式：NF₃。分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）

GB/T 21287-2007
电子工业用气体.三氟化氮