GB/T 21287-2007
电子工业用气体.三氟化氮
Gases for electronic industry.Nitrogen trifluoride
GBT21287-2007, GB21287-2007
2022-05
- 标准号
- GB/T 21287-2007
- 别名
- GBT21287-2007
GB21287-2007 - 发布
- 2007年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 21287-2021
- 当前最新
- GB/T 21287-2021
- 引用标准
- GB 14194 GB 190 GB 2723 GB 5099 GB 7144 GB/T 5832.1 GB/T 6681 危险化学品安全管理条例 气瓶安全监察规程 特种设备安全监察条例
- 本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式：NF3。 分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）
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