GB/T 21287-2007
电子工业用气体.三氟化氮
Gases for electronic industry.Nitrogen trifluoride
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- 标准号
- GB/T 21287-2007
- 发布日期
- 2007年12月14日
- 实施日期
- 2008年07月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB 190 GB/T 2723 GB 5099 GB/T 5832.1 GB/T 6681 GB 7144 GB 14194 气瓶安全监察规程 危险化学品安全管理条例 特种设备安全监察条例
- 适用范围
- 本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式：NF3。 分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）