GB/T 21287-2007
电子工业用气体.三氟化氮
Gases for electronic industry.Nitrogen trifluoride
GB/T 21287-2007 发布历史
本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式：NF。 分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）
GB/T 21287-2007由国家质检总局 CN-GB 发布于 2007-12-14，并于 2008-07-01 实施。
GB/T 21287-2007 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体，在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
GB/T 21287-2007 发布之时，引用了标准
- GB 190 危险货物包装标志*， 2009-06-21 更新
- GB 5099 钢质无缝气瓶
- GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法*， 2016-12-13 更新
- GB/T 6681 气体化工产品采样通则
- GB 7144 气瓶颜色标志
- GB 14194 永久气体气瓶充装规定
* 在 GB/T 21287-2007 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
GB/T 21287-2007的历代版本如下：
- 2007年12月14日 GB/T 21287-2007 电子工业用气体.三氟化氮
- 2021年10月11日 GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮
- 标准号
- GB/T 21287-2007
- 发布日期
- 2007年12月14日
- 实施日期
- 2008年07月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB 190 GB/T 2723 GB 5099 GB/T 5832.1 GB/T 6681 GB 7144 GB 14194 气瓶安全监察规程 危险化学品安全管理条例 特种设备安全监察条例
- 适用范围
- 本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式：NF3。 分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）