JIS B 9920:2002
洁净室空气洁净度的分类

Classification of air cleanliness for cleanrooms


 

 

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标准号
JIS B 9920:2002
发布
2002年
发布单位
日本工业标准调查会
替代标准
JIS B 9920-1:2019
JIS B 9920-2:2019
当前最新
JIS B 9920-1:2019
JIS B 9920-2:2019
 
 
被代替标准
JIS B 9920:1989
适用范围
この規格は，クリーンルーム及びこれに関連する制御された環境(以下，クリーンルーム施設という。)における空気清浄度の浮遊微粒子濃度によるクラス分類及びその評価法について規定する。

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