DIN EN ISO 14644-1:2016
洁净室和相关控制环境.第1部分:颗粒物浓度的空气洁净度分级(ISO 14644-1-2015).德文版本EN ISO 14644-1-2015
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-1:2015); German version EN ISO 14644-1:2015
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-1:2016
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 14644-1:2016-06
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-1:2016-06
- 引用标准
- ASTM F312-08 ISO 14644-2:2015 ISO 14644-7:2004 ISO 21501-4:2007 JIS B 9920:2002
- 被代替标准
- DIN EN ISO 14644-1:1999 DIN EN ISO 14644-1:2014
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