EN ISO 14644-1:2015
洁净室和相关控制环境.第1部分:颗粒物浓度的空气洁净度分级
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-1:2015)
- 标准号
- EN ISO 14644-1:2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 欧洲标准化委员会
- 当前最新
- EN ISO 14644-1:2015
- 引用标准
- ASTM F312-08 IEST-G-CC1003 IEST-G-CC1004 ISO 14644-2:2015 ISO 14644-7:2004 ISO 21501-4:2007 JIS B 9920:2002
- 被代替标准
- FprEN ISO 14644-1:2015
- 适用范围
- ISO 14644 的这一部分包含根据 ISO 14644-7 基于空气颗粒浓度的洁净室和相关洁净室区域以及 SD 模块（en：分离装置，SD）的空气洁净度分类。 仅考虑其累积频率分布基于粒径阈值（检测下限）（范围为 0.1 µm 至 5 µm）的颗粒群进行分类。 使用光散射（离散）空气颗粒计数器 (LSAPC) 是确定指定采样位置处等于或大于指定尺寸范围的空气颗粒浓度的基础。 ISO 14644 的这一部分不适用于超出规定的 0.1 µm 至 5 µm 颗粒尺寸下限（检测限）的颗粒组的分类。 标准系列的另一部分讨论了超细颗粒（小于 0.1 µm 的纳米级颗粒）的浓度，该部分以空气中纳米颗粒的颗粒浓度来定义空气纯度，而 M 描述符（参见附录 C）则用于量化大颗粒组（可以使用大于 5 µm 的颗粒。 ISO 14644 的这一部分不适用于表征物理、化学、放射性、活性（活性）或其他类型的空气传播颗粒。
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