CSN 35 8971-1984
半导体器件．掩膜基件和掩膜．特征参数的测量方法

Semiconductors devices. Substrates for masks and masks. Measuring methods of characteristic parameters

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标准号

CSN 35 8971-1984

发布日期

1984年12月20日

实施日期

废止日期

无

发布单位

CZ-CSN

适用范围

Schválení ST SEV 3991-83 doporu?ilo federální ministerstvo elektrotechnického pr?myslu Zpracovatel: TESLA Ro?nov, k. p., Ro?nov pod Radho?těm V. Chmela?ova Oborové normaliza?ní st?edisko: TESLA Ro?nov, k. p., ing. D. Balá?ová Pracovník ??adu pro normalizaci a mě?ení: H. Musilová

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