CSN 35 8971-1984
半导体器件．掩膜基件和掩膜．特征参数的测量方法

Semiconductors devices. Substrates for masks and masks. Measuring methods of characteristic parameters

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标准号

CSN 35 8971-1984

发布

1984年

发布单位

CZ-CSN

当前最新

CSN 35 8971-1984

 

 

适用范围

ST SEV 3991-83 的批准由联邦电工工业部推荐 处理者：TESLA Ro?nov, kp, Ro?nov 下属 Radho?těm V. Chmela?ova 分部标准化中心：TESLA Ro?nov, kp , Eng . D. Balá?ová 标准化和测量团队的工作人员：H. Musilová

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