ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999
洁净室和相关控制环境.第1部分:空气清洁度的分级

Cleanrooms and associated controlled environments--Part 1: Classification of air cleanliness

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标准号

ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999

发布

2003年

发布单位

美国国家标准学会

当前最新

ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999

 

 

适用范围

ISO 14644 的这一部分涵盖了洁净室和相关受控环境中空气洁净度的分类，仅根据空气中颗粒的浓度进行分类。仅考虑具有基于 0、1μm 至 5μm 范围内的阈值（下限）尺寸的累积分布的粒子群用于分类目的。 ISO 14644 的这一部分没有规定对超出指定粒径范围（0、1 µm 至 5 µm）的颗粒群进行分类。超细颗粒（小于 0、1 µm 的颗粒）和大颗粒（大于 5 µm 的颗粒）的浓度可分别用于根据 U 描述符和 M 描述符来量化这些总体。 ISO 14644 的这一部分不能用于表征空气中颗粒的物理、化学、放射性或活性性质。注意：增量尺寸范围内颗粒浓度的实际分布通常是不可预测的，并且通常会随时间变化。

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