电子探针利用0.5μm-1μm的高能电子束激发分析试样, 通过电子束与试样相互作用产生的特征X射线、 二次电子、 吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内) 成份、 形貌和化学结合状态等特征。...
其次,电子探针的无损测试特性也成为与SIMS和LA-ICP-MS相比的另一大优势,如图2石英样品。图 2 石英样品在SIMS(a、b)和LA-ICP-MS(c)及EPMA测试下的分析区域背散射电子图像电子探针分析条件:加速电压20kV,测试束流80nA,分析束斑7μm,分析时间10min。目前,电子探针可以分析元素周期表中4Be~92U之间的元素。...
1.显微结构分析 电子探针是利用0.5μm-1μm的高能电子束激发待分析的样品,通过电子与样品的相互作用产生的特征X射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析样品的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针是几个μm范围内的微区分析, 微区分析是它的一个重要特点之一, 它能将微区化学成份与显微结构对应起来,是一种显微结构的分析。 2....
EMPA主要追求微区化学定量结果精准,因此电子光学分辨率设计相对宽松,电子显微分析对汇聚束束电流要求较大,束斑较粗。 早期EPMA成像手段主要采用同轴光学显微镜,然后移动样品台或移动汇聚电子束,找到感兴趣区,当前依然保留同轴光镜,用来校准WD。EMPA对电子光学系统工作条件的稳定性要求超过SEM很多很多,控制系统增加了一些负反馈机制,确保分析条件和标样分析保持很小的误差。 ...
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