电子探针全称电子探针X 射线显微分析仪,又称微区X射线光谱分析仪,是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器,英文简称为EPMA。 可用来分析薄片中矿物微区的化学组成,分析对象是固体物质表面细小颗粒或微小区域,最小范围直径为1μm。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外,还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。 ...
也可得到样品所含元素的点、线、面分布图像和微形貌图像,其分辨率可达7nm,放大倍数连续可调,可达20万~30万倍。电子探针可分析的元素范围是5B~92U(波谱分析)或11Na~92U(能谱分析),其实际相对灵敏度很高,接近万分之一至万分之五。一般分析区内含量达10∧-14g的元素即可被感知。电子束斑直径最小为1μm,最大为500μm。...
电子探针显微分析是一种在材料表面几微米范围内的微区分析方法,它是一种显微结构的分析,能将微区化学成分与显微结构结合起来。采用该方法分析元素范围广泛、定量准确且不损坏试样。来自德国联邦材料研究与审核机构(BAM)的Vasile-Dan Hodoroaba博士介绍了ESMA 法在材料表面分析方面的应用情况。...
1.显微结构分析 电子探针是利用0.5μm-1μm的高能电子束激发待分析的样品,通过电子与样品的相互作用产生的特征X射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析样品的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针是几个μm范围内的微区分析, 微区分析是它的一个重要特点之一, 它能将微区化学成份与显微结构对应起来,是一种显微结构的分析。 2....
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