ASTM F1261M-96
薄膜金属直线平均电宽度测定的标准试验方法

Standard Test Method for Determining the Average Electrical Width of a Straight, Thin-Film Metal Line [Metric]

被代替

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标准号

ASTM F1261M-96

发布

1996年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1261M-96(2003)

当前最新

ASTM F1261M-96(2003)

 

 

适用范围

1.1 本测试方法设计用于确定窄薄膜金属化线的平均电气宽度。
1.2 本测试方法旨在测量细金属化线，例如微电子电路中使用的细金属化线，其中线的宽度范围从微米到十分之一微米。
1.3 本测试方法中使用的测试结构可以在仍然是晶圆的一部分或来自晶圆的一部分时进行测量，或者作为与封装接合并通过封装端子进行电接触的测试芯片的一部分进行测量。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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