ASTM F1394-92(2005)
测定从气体分配系统阀门产生的粒子成分的标准试验方法

Standard Test Method for Determination of Particle Contribution from Gas Distribution System Valves

被代替

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标准号: ASTM F1394-92(2005)
发布: 1992年
发布单位: 美国材料与试验协会
替代标准: ASTM F1394-92(2012)
当前最新: ASTM F1394-92(2020)

该测试方法的目的是定义测试安装到高纯度气体分配系统中的组件的程序。应用该测试方法预计将在测试的组件之间产生可比较的数据，以鉴定该安装。背景测试8212；此测试方法使用背景测试来确保系统不会产生高于可接受的低水平的颗粒。这可确保看到的计数来自测试设备，而不是来自受污染的系统。用于获得背景计数的技术不会产生与测试设备就位时存在的条件相同的条件。建议定期运行对照产...

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