ASTM F1620-96由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 1996,于 2003-08-13 废止。
ASTM F1620-96 在中国标准分类中归属于: L40 半导体分立器件综合,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
ASTM F1620-96 使用单分散聚苯乙烯乳胶球沉积在抛光或外延片表面的方法校准表面扫描检验系统的标准规范的最新版本是哪一版?
最新版本是 ASTM F1620-96 。
该标准已于 20031 年 5 月转移至 SEMI (www.semi.org)。1 该实践涵盖了通过观察预沉积在受控容器中的单分散聚苯乙烯乳胶 (PSL) 球体的分布来校准扫描表面检测系统 (SSIS)。时尚在将由 SSIS 检查的相同类型的干净、未图案化、抛光或外延晶圆的前表面上。注 1:这种做法主要是为了用于校准用于检查单晶硅片的 SSIS,在这种情况下,必须使用预沉积的裸单晶硅片作为校准片。这种做法还可以扩展到用于检查其他材料(例如砷化镓或其他化合物半导体化合物)的 SSIS 的校准,在这种情况下,必须使用待检查类型的清洁、未图案化、抛光的晶圆作为校准晶圆。也有可能将该技术扩展到具有其他表面的晶片,例如氧化物或多晶硅膜,但这种实践的扩展可能有效的条件尚未确定。
1.2 本实践包括单点和多点校准程序。对于单点校准,使用一块晶圆,预先沉积有单一标称尺寸的 PSL 球体,该尺寸对应于要使用正在校准的 SSIS 进行测量的局部光散射体的乳胶球当量 (LSE)。后者使用一系列晶圆,每个晶圆都预先沉积有单一标称尺寸的 PSL 球体;所采用的尺寸范围涵盖了 SSIS 的校准范围。
1.3 该程序必须在位于 M2.5 级(10 级)或联邦标准 209E 中定义的更好环境中的 SSIS 上执行。在此实践中可以使用大至10μm的1.4PSL球体。可以使用的最小尺寸的 PSL 球体是在沉积球体的晶片表面上校准的 SSIS 可以检测到的最小尺寸。注2-在开发该实践时,最小的实际尺寸为0.08μm,但预计随着技术的发展将能够使用更小尺寸的球体。
1.5 本实践不包括单分散 PSL 球的沉积程序。预沉积晶圆可以通过商业途径获得,也可以根据 SEMI 实践 E14 附录 A1 中总结的良好实验室实践进行制备。
1.6 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
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