ASTM E2108-05
X-射线光电分光仪的电子结合能刻度表校准的标准实施规程

Standard Practice for Calibration of the Electron Binding-Energy Scale of an X-Ray Photoelectron Spectrometer

被代替

标准号

ASTM E2108-05

发布

2005年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E2108-10

当前最新

ASTM E2108-16

 

 

引用标准

ASTM E1016 ASTM E1078 ASTM E1523 ASTM E456 ASTM E673 ASTM E902

适用范围

1.1 本实践描述了校准 X 射线光电子能谱仪电子结合能 (BE) 标度的程序，该 X 射线光电子能谱仪用于使用非单色铝或镁 K X 射线或单色铝 KX 射线进行表面分析。 1.2建议在安装或以任何实质性方式修改仪器后对BE标度进行校准。此外，建议检查仪器 BE 标度，如有必要，按选定的时间间隔重新校准，以确保 BE 测量在统计上不太可能以比分析师根据仪器稳定性指定的容差极限更大的不确定性进行。以及分析师的需求。通过提供的信息，分析人员可以为 BE 测量选择适当的容差限值和校准检查的频率。
1.3 这种做法基于这样的假设：光谱仪的 BE 标度足够接近线性，因此 BE 标度可以通过测量接近工作 BE 尺度极值的参考光电子线进行校准。在大多数商用仪器中，采用带有铝或镁阳极的 X 射线源，BE 通常在 0-1000 eV 范围内测量。这种做法可用于从 0 eV 到 1040 eV 的 BE 范围。
1.4 BE 标度是线性的假设是通过使用出现在中间位置的参考光电子线或俄歇电子线进行的测量来检查的。单一检查是建立 BE 标度线性的必要条件，但不是充分条件。可以使用配备镁或非单色铝 X 射线源的仪器上的指定参考线、二级 BE 标准或按照仪器制造商的程序进行附加检查。由于机械未对准、分析仪区域中的磁场过大或者电源的缺陷或故障，可能会出现 BE 标度线性度的偏差。这种做法不检查，也不识别此类问题。
1.5 在对特定仪器的主要校准线的 BE 标度线性度进行初步检查和重复性标准偏差测量后，给出了例行程序的简化程序1.6 建议在恒定通过能量或固定分析仪传输模式下操作且通过能量小于 200 eV 的 X 射线光电子能谱仪使用此做法；否则，根据仪器的配置，校准方程可能需要相对论方程。这种做法不应用于在延迟比小于 10 的恒定延迟比模式下运行的仪器、能量分辨率低于 1.5 eV 的仪器或需要 BE 测量且容差限制为 0.03 eV 的应用。
1.7 在配备单色铝 K X 射线源的仪器上，如果需要，可以使用特定俄歇电子线位置的测量来确定入射到样品上的 X 射线的平均能量。确定修改后的螺旋钻参数需要此信息。本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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