ASTM F50-92(1996)
使用能检测单个亚测微计及较大粒子的仪器在控制尘埃区域及无菌区中连续测定空气中悬浮粒子的大小及计数

Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instruments Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles


 

 

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标准号
ASTM F50-92(1996)
发布
1992年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM F50-92(2001)e1
当前最新
ASTM F50-21
 
 
适用范围
1.1 本实践涵盖了灰尘控制区域和洁净室中空气中颗粒浓度(按数量)和尺寸分布的测定,颗粒尺寸范围约为 0.01 至 5.0 μm。对于所有等于或大于测量的最小尺寸的颗粒,颗粒浓度不超过 3.5 X 106 颗粒/立方米(100 000/立方英尺)。
1.2 这种做法使用机载单颗粒计数装置(SPC),其操作基于测量通过传感区域的单个颗粒产生的信号。信号必须与颗粒尺寸直接或间接相关。注 1-此处未指定 SPC 类型。 SPC 可以是传统的光学粒子计数器 (OPC)、空气动力学粒子测定器、与扩散电池或微分迁移率分析仪结合运行的凝聚核计数器 (CNC),或任何其他能够对粒子中的单个粒子进行计数和大小测定的设备。关注的尺寸范围和洁净室环境中的采样。
1.3 按照本惯例执行测试的人员应接受 SPC 使用培训并了解其操作。
1.4 由于空气中颗粒物的浓度和粒径分布不断变化,采样探头配置、位置和采样时间的选择都会影响采样结果。此外,不同 SPC 之间的物理测量、电子和样品处理系统的差异以及被测量的各种颗粒的物理特性的差异可能会导致测试结果的变化。应通过使用初级校准的标准方法和最小化样品采集程序的可变性来认识并最小化这些差异。
1.5 可以根据不同的洁净室等级级别为特定应用选择样品采集程序和设备。对这些选择的严格要求超出了本实践的范围;然而,取样方法应考虑到洁净室中悬浮颗粒的潜在空间和统计变化。注 2-洁净室分类的一般参考遵循最新修订的联邦标准 209。如果要对不符合这些分类的粉尘控制区域中的空气颗粒进行表征,则应使用这些区域相关规范的最新版本。
1.6 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。有关具体危险说明,请参阅第 8 节。

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