ASTM F1621-96
测定表面扫描检验系统(SSIS)的定位精度能力的标准规程
Standard Practice for Determining the Positional Accuracy Capabilities of a Scanning Surface Inspection System
2003-05
- 标准号
- ASTM F1621-96
- 发布
- 1996年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM F1621-96
- 引用标准
- ASTM E691 ASTM F1241 ASTM F1618 ASTM F1620
- 该标准已于 20031 年 5 月转移至 SEMI (www.semi.org)。1 该实践涵盖了扫描表面检测系统 (SSIS) 报告硅晶圆表面上局部光散射体位置的准确性的确定。注 1 - 这种做法主要是为了与基于激光的 SSIS 一起使用而开发的。尽管它也可能适用于确定其他类型 SSIS 的位置精度能力，但这种实践扩展可能有效的条件尚未确定。 1.2 该实...