ASTM E1127-91(1997)
俄歇电子能谱学中的深度压形的标准指南

Standard Guide for Depth Profiling in Auger Electron Spectroscopy

被代替

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标准号

ASTM E1127-91(1997)

发布

1991年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E1127-03

当前最新

ASTM E1127-08(2015)

 

 

适用范围

1.1 本指南涵盖了俄歇电子能谱中深度剖析所使用的程序。
1.2 通过以下内容给出深度剖析指南： 章节 离子溅射 6 角度研磨和横截面 7 机械缩孔 8 无损深度剖析 9 1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有） 。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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