ASTM F1725-97
硅锭的结晶完整性分析的标准指南

Standard Guide for Analysis of Crystallographic Perfection of Silicon Ingots

被代替

标准号

ASTM F1725-97

发布

1997年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1725-02

当前最新

ASTM F1725-02

 

 

引用标准

ASTM D5127 ASTM F1241 ASTM F1809 ASTM F1810 ASTM F26 ASTM F523

适用范围

1.1 本实践涵盖硅锭晶体学完美性的分析。所描述的步骤包括样品制备、蚀刻溶液的选择和使用、缺陷识别和缺陷计数。
1.2 如果评估在 (111) 或 (100) 方向生长并掺杂 p 或 n 型且电阻率大于 0.005 Omega cm 的硅，则适合使用此做法。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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