ASTM E1217-00
用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号的样品面积的标准实施规范

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适用范围: 1.1 本实践描述了当该区域由电子收集透镜/孔径系统定义时，确定对 X 射线光电子能谱 (XPS) 和俄歇电子能谱 (AES) 中检测到的信号有贡献的样品区域的方法。建议将其作为一种有用的方法，用于确定不同光谱仪操作条件下观察到的样品区域、验证样品是否充分对准以及表征电子能量分析仪的成像特性。
1.2 这种做法仅适用于由 X 射线或电子束激发的样品区域大于或可以大于分析仪观察到的样品区域的光谱仪。假设在正常操作条件下，样品被 X 射线或电子束激发，可以认为在分析仪观察到的样品区域上具有均匀的强度，并且样品在整个区域上是均质且均匀的。观察区域。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

ASTM E1217-00用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号的样品面积的标准实施规范