DIN 50452-2-2009
半导体技术用材料的试验.液体中粒子分析的试验方法.第2部分:利用光学粒子计数器测定粒子
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 2: Determination of particles by optical particle counters
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- 标准号
- DIN 50452-2-2009
- 发布日期
- 2009年10月
- 实施日期
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- DE-DIN
- 引用标准
- DIN EN ISO 14644-1
- 被代替标准
- DIN 50452-2-2008