DIN 50452-2-2009
半导体技术用材料的试验.液体中粒子分析的试验方法.第2部分:利用光学粒子计数器测定粒子
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 2: Determination of particles by optical particle counters
DIN 50452-2-2009 发布历史
DIN 50452-2-2009由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 2009-10。
DIN 50452-2-2009 在中国标准分类中归属于: H17 半金属及半导体材料分析方法，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。
DIN 50452-2-2009 发布之时，引用了标准
- DIN EN ISO 14644-1 洁净室和相关控制环境.第1部分:颗粒物浓度的空气洁净度分级(ISO 14644-1-2015).德文版本EN ISO 14644-1-2015*， 2016-06-01 更新
* 在 DIN 50452-2-2009 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
DIN 50452-2-2009的历代版本如下：
- 1991年03月 DIN 50452-2-1991 半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定
- 2009年10月 DIN 50452-2-2009 半导体技术用材料的试验.液体中粒子分析的试验方法.第2部分:利用光学粒子计数器测定粒子
- 标准号
- DIN 50452-2-2009
- 发布日期
- 2009年10月
- 实施日期
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- DE-DIN
- 引用标准
- DIN EN ISO 14644-1
- 被代替标准
- DIN 50452-2-2008