AS ISO 14237:2006
表面化学分析．次级离子质谱测量法．使用均一的绝缘材料测定硅中的硼原子浓度
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
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- 标准号
- AS ISO 14237:2006
- 发布单位
- 澳大利亚标准协会
- 适用范围
- Adopts ISO 14237:2000 to specify a secondary-ion mass spectrometric method for the determination of boron atomic concentration in single-crystalline silicon, using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted with boron.
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