针对直拉单晶硅中杂质元素以及氮氧复合体的测量,布鲁克CryoSAS全自动、高灵敏度工业低温硅质量控制分析系统,通过测试位于中/远红外波段间隙氧(1136.3cm-1, 1205.6cm-1)[7],代位碳(607.5cm-1)[6,7],III-V族元素[4,5]以及氮氧复合体吸收谱带(249.8,240.4cm-1[1,2]),通过直接或间接计算获得相应元素含量值。...
hcno=C2A3CDB7EE594F2F7C099F85E379DDD4标准号:GB/T 24581-2022硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法http://openstd.samr.gov.cn/bzgk/gb/newGbInfo?...
hcno=C2A3CDB7EE594F2F7C099F85E379DDD4标准号:GB/T 24581-2022硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法http://openstd.samr.gov.cn/bzgk/gb/newGbInfo?...
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