本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
GB/T 14851-2009由国家质检总局 CN-GB 发布于 2009-10-30,并于 2010-05-01 实施。
GB/T 14851-2009 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体,在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
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