铌酸锂集成光学器件通用规范 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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氮化硅是一种理想的辅助材料,具有与铌酸锂类似的折射率,通过合理的设计波导结构使得氮化硅—铌酸锂异质波导中的大部分光场仍然可以限制在铌酸锂层,从而发挥其优异的光学性能实现电光、声光及光学非线性器件。更重要的是,氮化硅是CMOS工艺兼容的材料,成熟的微纳加工工艺可以方便地实现氮化硅层的加工制作,有助于实现铌酸锂集成光电子芯片的大规模集成。...
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