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实验中,将含有盐酸(HCl)、氢溴酸(HBr)、甲酸(CH2O2)、乙酸(CH3COOH)和硝酸(HNO3), 或含有痕量有机胺(MB)的微量水溶液喷入FOUP内部,然后用氮气不间断冲洗FOUP来模拟清洗过程。喷入FOUP内的酸类物质质量在0.15微克到1微克之间。氢氟酸(HF)则是将渗透管短暂放入FOUP中约2分钟。...
除此之外,硝酸还很不稳定,在加热或光照的条件下能够分解成水、二氧化氮和氧气,并且硝酸浓度越高,就越容易分解。硝酸还有强氧化性,它能跟一些金属、非金属及还原性物质反应,结果,氮元素化合价降低,变为二氧化氮或一氧化氮(浓硝酸与金属非金属等反应生成二氧化氮,稀硝酸则生成一氧化氮)。另外,硝酸还可与蛋白质反应,使之变黄。③硫酸(H₂SO₄)除钙、锶、钡、铅外,其它金属的硫酸盐都溶于水。...
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