NF X21-070-2010
表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度.

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials.

说明：

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标准号
NF X21-070-2010
发布日期
2010年09月01日
实施日期
2010年09月25日
废止日期
无
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.50
发布单位
FR-AFNOR
代替标准
GOST 29104.5-1991(部分代替)


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