NF X21-070-2010
表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度.

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials.


NF X21-070-2010 发布历史

NF X21-070-2010由法国标准化协会 FR-AFNOR 发布于 2010-09-01,并于 2010-09-25 实施。

NF X21-070-2010 在中国标准分类中归属于: G04 基础标准与通用方法,在国际标准分类中归属于: 71.040.50 物理化学分析方法。

NF X21-070-2010的历代版本如下:

  • 2010年09月01日 NF X21-070-2010 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度.

 

 

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标准号
NF X21-070-2010
发布日期
2010年09月01日
实施日期
2010年09月25日
废止日期
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.50
发布单位
FR-AFNOR
代替标准
GOST 29104.5-1991(部分代替)




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