ASTM F390-11
用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法
Standard Test Method for Sheet Resistance of Thin Metallic Films With a Collinear Four-Probe Array
哪些标准引用了ASTM F390-11
- 标准号
- ASTM F390-11
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM F390-11
- 引用标准
- ASTM E2251 ASTM F388
- 代替标准
- DIN 4261-5:2012
- 1.1 本测试方法涵盖使用共线四探针阵列测量金属薄膜的方块电阻。它旨在与厚度在 0.01 至 100 μm 之间的矩形金属薄膜一起使用，通过材料沉积或减薄工艺形成并由绝缘基板支撑，薄层电阻范围为 10 至 10 Ω/ [开箱]（见3.1.3）。 1.2 本测试方法适用于裁判测量目的以及常规验收测量。 1.3 以Si单位表示的数值应视为标准。括号中给出的值仅供...
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