ASTM F390-11由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2011。
ASTM F390-11 在中国标准分类中归属于: L13 电阻器。
ASTM F390-11 用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法的最新版本是哪一版?
最新版本是 ASTM F390-11 。
1.1 本测试方法涵盖使用共线四探针阵列测量金属薄膜的方块电阻。它旨在与厚度在 0.01 至 100 μm 之间的矩形金属薄膜一起使用,通过材料沉积或减薄工艺形成并由绝缘基板支撑,薄层电阻范围为 10 至 10 Ω/ [开箱](见3.1.3)。
1.2 本测试方法适用于裁判测量目的以及常规验收测量。
1.3 以Si单位表示的数值应视为标准。括号中给出的值仅供参考。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
高温四探针测试仪测量系统,该系统可以测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻,该设备按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的。 ...
R50四探针电阻率测量仪Filmetrics R50 系列提供接触式四点探针 (4PP) 和非接触式涡流 (EC)测量。最快 1 点/秒的速度映射导电膜的电阻率/电导率。电动 X-Y 载物台使用标准晶片吸盘定制样品架,最大可测量 300mm 的样品,或200mm 的面积。...
有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。...
相关应用:薄膜/厚膜台阶;蚀刻深度量测;光阻/光刻胶台阶;柔性薄膜;表面粗糙度/平整度表征;表面曲率和轮廓分析;薄膜的2D stress量测;表面结构分析;表面的3D轮廓成像;缺陷表征和缺陷分析。 R50四探针电阻率测量仪Filmetrics R50 系列提供接触式四点探针 (4PP) 和非接触式涡流 (EC)测量。最快 1 点/秒的速度映射导电膜的电阻率/电导率。...
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