VDI 2083 Blatt 13.1-2009
洁净室技术 超纯水的质量、生产和分配 基础知识
Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Fundamentals
- 标准号
- VDI 2083 Blatt 13.1-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 当前最新
- VDI 2083 Blatt 13.1-2009
- 引用标准
- DIN 10192-1:1984 DIN 11850:1999 DIN 11864-1:2006 DIN 11864-2:2006 DIN 1301-1:2002 DIN 1314:1977 DIN 19645:2006 DIN 25416-2:1996 DIN 32676:2001 DIN 32676:2007 DIN 32736:2000 DIN 38404-10:1995 DIN 38404-3:2005 DIN 38409-6:1986 DIN 38409-7:2005 DIN 54400-200
- 被代替标准
- VDI 2083 Blatt 13.1-2008
- 适用范围
- Zweck dieser Richtlinie ist die Zusammenfassung des Wissens bezüglich der Planung, dem Bau, dem Betrieb und der ?berwachung von Wasseraufbereitungsanlagen zur Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser. Diese Richtlinie gilt für die Qualit?tsanforderungen, die Erzeugung und die Versorgung mit Reinstwasser von Prozessen mit hohen Reinheitsanforderungen, wie sie in der Reinraumtechnik verwendet werden. In der Kraftwerkstechnik und Kernkraftwerkstechnik werden ?hnliche Prozesse und Systeme verwendet, diese sind aber nicht Gegenstand dieser Richtlinie, da sie an anderer Stelle beschrieben werden. Das Reinstwasser wird in verschiedenen Anwendungen genutzt, einerseits für Reinigungsprozesse und andererseits zur Verdünnung von konzentrierten Reinstchemikalien auf Gebrauchsl?sungskonzentrationen, oder es geht in das herzustellende Produkt über. So werden z. B. kontaminierte Oberfl?chen vor der Durchführung sensibler Arbeitsprozesse mit Reinstwasser gereinigt. An das hierzu eingesetzte Reinstwasser werden hohe Anforderungen bezüglich partikul?rer, chemischer und biologischer Reinheit bei der Anwendung gestellt. Im Anwendungsbereich der Mikroelektronik/ Halbleitertechnik liegt der Schwerpunkt, bedingt durch die Verkleinerung der Strukturen, auf der Entfernung m?glichst aller partikul?ren, chemischen und biologischen Kontaminationen. Im Bereich der Life Sciences liegt der Schwerpunkt haupts?chlich auf der Entfernung von mikrobiellen und partikul?ren Kontaminationen und einer Verminderung der Ionenfracht und der organischen Inhaltsstoffe auf einen festgelegten Grenzwert. Im Bereich der Biotechnik, insbesondere für die Molekularbiologie, werden die Kontaminationen wie bei der Mikroelektronik/Halbleitertechnik und beim Pharmawasser vermindert, dabei k?nnen andere Verunreinigungen, z. B. Enzyme und Nukleins?uren, eine Rolle spielen, die jedoch hier nicht weiter behandelt werden, da sie ebenfalls an anderer Stelle reguliert werden. Zu beachten sind im Bereich Life Sciences die entsprechenden nationalen und internationalen Rechtsverordnungen. Die zur Anwendung kommenden Reinstwassersysteme strukturieren sich in: Aufbereitung einschlie?lich Vorbehandlung Speicherung und Verteilung Nutzung einschlie?lich Qualit?tsmonitoring Die für die Reinstwasseraufbereitung notwendigen Verfahrensschritte und somit der Systemaufbau werden bestimmt aus der vorliegenden, durch ?rtliche Gegebenheiten gepr?gten Rohwasseranalyse und aus der im konkreten Anwendungsfall vorgegebenen Reinstwasserzielanalyse. Umwelttechnische Rahmenbedingungen, z. B. die Forderung nach einem verminderten Chemikalieneinsatz sowie die ortsspezifischen Kosten für Wasser und andere Betriebskosten, beeinflussen ebenfalls die Auswahl der einzelnen Verfahrensschritte. Die Speicherung und Verteilung wird bestimmt durch die ?rtlichen Aufstellungsgegebenheiten und den anzuschlie?enden Nutzungseinheiten. Allgemein gilt, dass aus einer Vielfalt von L?sungsm?glichkeiten eine wirtschaftliche L?sung erarbeitet werden muss.*www.vdi.de/2083