VDI 2083 Blatt 13.2-2009
洁净室技术 超纯水的质量、生产和分配 微电子和其他技术应用
Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Microelectronics and other technical applications
- 标准号
- VDI 2083 Blatt 13.2-2009
- 发布
- 2009年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 当前最新
- VDI 2083 Blatt 13.2-2009
- 引用标准
- DIN 10192-1:1984 DIN 11850:1999 DIN 11864-1:2006 DIN 11864-2:2006 DIN 1301-1:2002 DIN 1314:1977 DIN 19645:2006 DIN 25416-2:1996 DIN 32676:2001 DIN 32676:2007 DIN 32736:2000 DIN 38404-10:1995 DIN 38404-3:2005 DIN 38409-6:1986 DIN 38409-7:2005 DIN 54400-200
- 被代替标准
- VDI 2083 Blatt 13.2-2008
- 适用范围
- 本指南的目的是总结有关用于生产和分配超纯水的水处理厂的规划、建设、运营和监测的知识。本指南适用于高纯度要求工艺（例如洁净室技术中使用的工艺）的超纯水的质量要求、生产和供应。类似的过程和系统用于发电厂技术和核电厂技术，但这些不是本指南的主题，因为它们在其他地方进行了描述。超纯水用于各种应用，一方面用于清洁过程，另一方面用于将浓缩的超纯化学品稀释至工作溶液浓度，或者用于要制造的产品。例如， B. 在进行敏感工作流程之前，用超纯水清洁受污染的表面。对用于此目的的超纯水在使用过程中的颗粒、化学和生物纯度方面提出了很高的要求。在技术应用领域，特别是微电子/半导体技术，重点是由于结构尺寸的减小而尽可能多地去除颗粒、化学和生物污染物。所使用的超纯水系统的结构如下： 处理，包括预处理 储存和分配 使用，包括质量监测 超纯水处理所需的工艺步骤以及系统结构是根据现有原水分析确定的，而原水分析受当地超纯水条件的影响具体应用中指定的水目标分析。环境技术框架条件，例如B. 减少化学品使用的要求以及特定地点的水成本和其他运营成本也会影响各个工艺步骤的选择。存储和分配由当地安装条件和连接的使用单位决定。一般来说，必须从多种可能的解决方案中开发出经济的解决方案。*www.vdi.de/2083
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