DIN 51456:2013
半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析
Testing of materials for semiconductor technology - Surface analysis of silicon wafers by multielement determination in aqueous analysis solutions using mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)
- 标准号
- DIN 51456:2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 51456:2013-10
- 当前最新
- DIN 51456:2013-10
- 被代替标准
- DIN 51456:2012