DIN 51456-2013
半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析

Testing of materials for semiconductor technology - Surface analysis of silicon wafers by multielement determination in aqueous analysis solutions using mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)

DIN 51456-2013 发布历史

DIN 51456-2013由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 2013-10。

DIN 51456-2013 在中国标准分类中归属于: L40 半导体分立器件综合，在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。

DIN 51456-2013的历代版本如下：

• 2013年10月 DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 DIN 51456-2013 前三页，或者稍后再访问。

注意： 点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

标准号

DIN 51456-2013

发布日期

2013年10月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

L40

国际标准分类号

31.200

发布单位

DE-DIN

被代替标准

DIN 51456-2012

DIN 51456-2013 中可能用到的仪器设备