GB/T 30118-2013
声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法

Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications.Specifications and measuring methods


GB/T 30118-2013 中,可能用到以下仪器设备

 

日本电子JSM-6510系列扫描电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

FEI Quanta x50 FEG场发射环境扫描电镜

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赛默飞电子显微镜(原FEI)

 

蔡司ULTRA 55扫描电子显微镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

日本电子6700F高分辨扫描电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

蔡司Gemini Sigma 300/VP SEM超高分辨率场发射扫描电镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

蔡司SIGMA 500/VP高分辨率场发射扫描电镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

蔡司MultiSEM 505/MultiSEM 506扫描电子显微镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

日本电子JSM-7200F扫描电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

大气压扫描电镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

聚焦离子束系统

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

ULTRA 结构分析用场发射扫描电子显微镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

过程控制用微粒分析工具/扫描电镜SEM

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

Quanta SEM

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赛默飞电子显微镜(原FEI)

 

多功能粉末X射线衍射仪

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英国马尔文仪器有限公司

 

反射模式样品进样器(粉末衍射)

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北京优纳珂科技有限公司

 

布鲁克 D8 D8 ADVANCE 达芬奇 X射线衍射仪

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布鲁克衍射荧光事业部(AXS)

 

蔡司ULTRA 55扫描电子显微镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

布鲁克 LYNXEYE XE 能量色散型一维阵列探测器

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布鲁克衍射荧光事业部(AXS)

 

蔡司Gemini Sigma 300/VP SEM超高分辨率场发射扫描电镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

蔡司SIGMA 500/VP高分辨率场发射扫描电镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

蔡司MultiSEM 505/MultiSEM 506扫描电子显微镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

聚焦离子束系统

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

ULTRA 结构分析用场发射扫描电子显微镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

过程控制用微粒分析工具/扫描电镜SEM

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

 D8 DISCOVER X 射线衍射系统

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布鲁克衍射荧光事业部(AXS)

 

液态金属靶X射线源

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QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司

 

MST微米划痕仪

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

 纳米摩擦试验机

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

 生物纳米压痕仪

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

热膨胀仪

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赛默飞世尔科技水质分析仪器

 

TA仪器HM 867加热显微镜

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VF200振动进样器

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北京绿绵科技有限公司

 

三头制样粉碎机5E-PC3×100

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长沙开元弘盛科技有限公司

 

颚式破碎机5E-JC100×60

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长沙开元弘盛科技有限公司

 

中药电动粉碎机

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山东盛泰仪器有限公司

 

检验精米机 砻谷机 碾米机

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山东盛泰仪器有限公司

 

便携式液氮冷冻研磨仪

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科瑞恩特(北京)科技有限公司

 

旋涡混合器

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北京中科科尔仪器有限公司

 

科尔帕默分析用研磨机

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北京中科科尔仪器有限公司

 

实验室吹瓶机

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北京莱伯泰科仪器股份有限公司

 

P-17 台阶仪

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优尼康科技有限公司

 

岛津MAXima_X XRD-7000X射线衍射仪

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岛津企业管理(中国)有限公司/岛津(香港)有限公司

 

XD-2/XD-3/XD-6 自动X射线粉末衍射仪

XD-2/XD-3/XD-6 自动X射线粉末衍射仪

北京普析通用仪器有限责任公司

 

岛津X射线衍射仪XRD-6000

岛津X射线衍射仪XRD-6000

岛津企业管理(中国)有限公司/岛津(香港)有限公司

 

SAXSess mc2 X射线结构分析仪

SAXSess mc2 X射线结构分析仪

安东帕(上海)商贸有限公司

 

OneSight一维高速检测器用于XRD-6100和XRD-7000

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岛津企业管理(中国)有限公司/岛津(香港)有限公司

 

安东帕SAXSpace小角X-射线散射仪

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安东帕(上海)商贸有限公司

 

GB/T 30118-2013



标准号
GB/T 30118-2013
发布日期
2013年12月17日
实施日期
2014年05月15日
废止日期
中国标准分类号
L21
国际标准分类号
31.140
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 2828.1 GB/T 3352 GB/T 3505 GB/T 6618
适用范围
本标准规定了人造石英、铌酸锂(LN)、钽酸锂(LT)、四硼酸锂(LBO)和硅酸镓镧(LGS)等单晶晶片等。本标准适用于人造石英、铌酸锂(LN)、钽酸锂(LT)、四硼酸锂(LBO)和硅酸镓镧(LGS)等单晶晶片。这些单晶晶片用作声表面波(SAW)滤波器和谐振器等基片材料。

GB/T 30118-2013系列标准


GB/T 30118-2013 中可能用到的仪器设备





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