这就是利用电子探针仪作定性、定量分析的理论根据。其镜筒部分构造和SEM相同,检测部分使用X射线谱仪,用来检测X射线的特征波长(波谱仪)和特征能量(能谱仪),以此对微区进行化学成分分析。X射线谱仪是电子探针的信号检测系统,分为:能量分散谱仪(EDS),简称能谱仪,用来测定X射线特征能量。波长分散谱仪(WDS),简称波谱仪,用来测定特征X射线波长。EDS常用作扫描电镜或透射电镜的微区成分分析。...
电子探针x射线显微分析,是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析。适用于分析试样中微小区域的化学成分,是研究材料组织结构和元素分布状态的有效方法。所以,实验室使用电子探针的小伙伴不在少数,想要更好地掌握探针探针的使用技术,这些基础知识不容忽略。电子探针X射线显微分析仪(Electron probe X-raymicroanalyser , EPMA )的简称为电子探针 。...
2.3 电子探针X射线显微分析(EPMA)电子探针X射线显微分析是运用电子所形成的探测针(细电子束)作为X射线的激发源,来进行显微X射线光谱分析,是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析。电子探针分析有四种基本分析方法:定点定性分析、线扫描分析、面扫描分析和定点定量分析。电子探针X射线显微分析特别适用于分析式样中微小区域的化学成分,因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。...
电子探针全称电子探针X 射线显微分析仪,又称微区X射线光谱分析仪,是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器,英文简称为EPMA。 可用来分析薄片中矿物微区的化学组成,分析对象是固体物质表面细小颗粒或微小区域,最小范围直径为1μm。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外,还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。 ...
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