ISO 14706:2014
表面化学分析 用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面基本的污染
Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- 标准号
- ISO 14706:2014
- 发布
- 2014年
- 中文版
- GB/T 40110-2021 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14706:2014
- 引用标准
- ISO 14644-1:1999 ISO 5725-2:1994
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